制取超纯水需要经过预处理系统→一级反渗透系统→二级反渗透系统→EDI系统→超纯水，经过每个环节产水量率都是不一样的，10吨每小时超纯水，预处理大概要20吨。预处理产水率100%，一级反渗透系统产水率65-70%，二级反渗透系统产水率不低于85%，EDI系统产水率90-95%，达到10吨每小时超纯水出力。

石英砂过滤器和活性炭过滤器为预处理设备，以保证后续系统的正常运行；一/二级反渗透系统为脱盐设备，除去水中大部分电解质；EDI系统深度净化除盐，使产水符合生产要求，EDI系统装置采用PLC全自动控制。